知識(shí)改變命運(yùn)，科技振興中華?？萍嫉牟粩噙M(jìn)步，對(duì)各種電子元器件的精密度要求就會(huì)越高，經(jīng)過(guò)一代又一代人的不斷潛心實(shí)驗(yàn)，我國(guó)電子研發(fā)專家發(fā)明了一項(xiàng)新的技術(shù)——離子蝕刻技術(shù).我們知道離子束加工是在真空條件下,將惰性氣體通過(guò)離子源產(chǎn)生離子束,經(jīng)過(guò)加速、集束、聚焦后,照射到被加工表面上實(shí)現(xiàn)各種加工的方法，因?yàn)槠渚哂屑庸ぞ群捅砻尜|(zhì)量高、加工材料廣泛、控制性能好等特點(diǎn),被應(yīng)用于各種工業(yè)加工中.頻率微調(diào)是石英晶振加工過(guò)程中涉及頻率調(diào)整的最后一道工序,其加工方法有手工打磨的方法、蒸發(fā)頻率調(diào)整法和離子蝕刻法。手工打磨的方法因其效率、合格率、精度低,目前很少使用.蒸發(fā)頻率調(diào)整法會(huì)使石英晶片的鍍膜產(chǎn)生偏移,鍍膜強(qiáng)度不均勻.離子蝕刻法雖然沒(méi)有鍍膜偏移、鍍膜強(qiáng)度不均勻的缺點(diǎn),但是因?yàn)榧庸ず髷?shù)秒內(nèi)會(huì)有一定的頻率偏差,導(dǎo)致其精度、生產(chǎn)效率低于蒸發(fā)頻率調(diào)整法,因此不能完全取代蒸發(fā)頻率調(diào)整法.本文對(duì)離子蝕刻后產(chǎn)生頻率偏差的現(xiàn)象進(jìn)行分析,并提出可以降低此現(xiàn)象的加工工藝,使得離子蝕刻法的精度可以超過(guò)蒸發(fā)頻率調(diào)整法.1石英晶振的原理1.1石英晶振的形成及等效電路石英晶體是單晶體結(jié)構(gòu)(SiO2),其形狀為六角形晶柱,兩端呈六棱錐形狀.石英晶振是按照特定的方位角從石英晶體上切下一片薄片,然后根據(jù)特定的尺寸(由目標(biāo)頻率決定)研磨出的石英晶片,在晶片的兩面涂覆金屬層，這樣就達(dá)到了生產(chǎn)精密晶振的效果。

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